Dem niederländischen Maschinenbauer und Halbleiterausrüster ASML steht offenbar ein Meilenstein bevor: Wie die Nachrichtenagentur Reuters kürzlich berichtete, wird der Konzern noch im laufenden Jahr seine erste „High-NA-EUV“-Belichtungsmaschine ausliefern.
Die Maschine ist etwa so groß wie ein LKW und kostet mehr als 300 Millionen Euro. Halbleiterkonzerne wollen auf das neue Anlagenmodell zurückgreifen, um in den kommenden Jahren noch kleinere und bessere Chips zu produzieren. ASML gilt als Weltmarktführer rund um solche Lithographiesysteme, die im Herstellungsprozess der Chips und somit auch für das Computerzeitalter als Ganzes unabdingbar sind.
Gegenüber Reuters musste ASML-Chef Peter Wennink Verzögerungen bei der Produktion der neuen „High-NA-EUV“-Maschinen einräumen. So hatten Zulieferer Probleme, das richtige Maß an technologischer Qualität zu bieten. Dies scheint nun behoben worden zu sein. „Aber tatsächlich ist die erste Auslieferung noch in diesem Jahr“, betonte Wennink.
ASML: Ältere DUV-Maschinen bleiben zunächst wichtig
Bis dato nutzen Intel, Samsung, TSMC, SK Hynix und Micron die EUV-Technologie der Niederländer. Zuvor hatte die Regierung in Den Haag auf Druck der USA die Exporte von EUV-Maschinen an chinesische Halbleiterhersteller untersagt.
Ohnehin sieht der Konzernchef für das laufende Jahr die älteren Maschinen (DUV) als Haupteinnahmequelle, auch weil chinesische Akteure mit Blick auf den EUV-Bann nun verstärkt auf die DUV-Anlagen zurückgreifen. 2024 sollen die Erlöse konzernweit indes um 30 Prozent steigen.
2024 sollte sich das Ganze aber umkehren, so Wennink weiter. Dann würden die EUV-Maschinen durch neue Chipfabriken in Arizona und Taiwan zum wichtigsten Standbein des Konzerns avancieren.
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